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SEMI认证的内容及周期

新闻中心 / 2024-07-03 16:51:20 SEMI认证 SEMI认证的内容

　　SEMI认证的重要性

　　国际半导体协会SEMI 制定的S系列标准对半导体制造行业的安全和可持续发展具有深远和重要的影响力。符合SEMI标准要求成为主流芯片制造商引进机台设备的主要判别安全标准，国际晶圆厂家均要求设备及子系统厂商提供SEMI认证证书。SEMI认证得到国际晶圆大厂Intel、TSMC、SMIC等普遍认可，中国半导体设备厂商AMEC 、SMEE等众多设备均已通过SEMI认证。SEMI认证已成为国际通行并被产业链广泛认可的通行证。

　　SEMI S2标准主要内容

　　SEMI S2 标准涵盖了半导体制造设备的环境、健康及安全条件，是一个综合性的标准。

　　标准确保设备本身安全及对环境、对人员的安全性，认证中综合考虑了与设备相关的使用者文件、危险性警告标志、安全连锁装置、紧急停机、电气安全、消防安全、化学物质加热槽、人体工学、危险能量隔离、机械设计安全、地震保护、自动机械设备、环境因素、排气、化学品安全、游离辐射安全、非游离辐射安全、激光安全、噪音等内容。